I. Основне використання та функції молібдену
Молібден – це сріблясто-білий металевий елемент із чудовими фізичними та хімічними властивостями, завдяки чому він широко використовується в різних галузях. Нижче наведено основні використання та функції молібдену:
1. Металургійна промисловість: молібден домінує в металургійній промисловості, на нього припадає приблизно 80% загального споживання молібдену. Він покращує міцність, твердість, зносостійкість і корозійну стійкість сталі, що призводить до кращої продуктивності та довшого терміну служби. Наприклад, нержавіюча сталь,-що містить молібден, широко використовується в корозійних середовищах, таких як хімічна та морська промисловість.
2. Хімічна промисловість: Сполуки молібдену широко використовуються як каталізатори в хімічній промисловості. Наприклад, дисульфід молібдену можна використовувати як каталізатор гідродесульфурації та крекінгу вуглеводнів, а оксид молібдену використовують у виробництві різних пігментів і барвників.
3. Електронна промисловість: Молібден в основному використовується як електродний матеріал в електронній промисловості. Завдяки високій -температурній стабільності та хорошій електропровідності молібденові електроди широко використовуються в електронних пристроях, таких як електронні трубки, транзистори та випрямлячі. Молібден також використовується для виготовлення нагрівальних елементів і теплових екранів у вакуумних печах.
II. Ключові етапи застосування молібдену у виробництві напівпровідників
Зі швидким розвитком напівпровідникових технологій застосування молібдену в цій галузі стає все більш поширеним. Нижче наведено три основні етапи застосування молібдену у виробництві напівпровідників:
1. Іонна імплантація: у цьому процесі як джерело іонів використовується молібден. Іонна імплантація — це метод введення атомів легуючої домішки в кремнієві пластини, що може змінити провідність пластини. Завдяки високій температурі плавлення та відмінній корозійній стійкості молібден може протистояти реакції легуючих газів і ерозії плазми в камері, таким чином забезпечуючи стабільність і ефективність іонної імплантації.
2. Обладнання для молекулярно-променевої епітаксії: молекулярно-променева епітаксія – це високо-точна, високо{2}}якісна технологія вирощування напівпровідникового матеріалу. У цьому процесі молібден використовується як матеріал для перегородок, тримачів підкладки та інших компонентів у вакуумній камері. Завдяки високій твердості і площинності молібден забезпечує точність і постійність кристалічної структури напівпровідника.
3. Фотолітографічні маски: під час процесу фотолітографії матеріал використовується як маска для захисту певних ділянок на кремнієвій пластині від фоторезисту. Молібденова фольга широко використовується як матеріал маски для фотолітографії завдяки своїй високій точності, високій повторюваності та чудовій стійкості до корозії.
